5-akseliset jyrsityt keraamiset eristeet puolijohdelaitteisiin ja puhdastiloihin

Puolijohdevalmistuksen ja puhdastilaympäristöjen korkean riskin maailmassa jokaisen komponentin on toimittava virheettömästi.PFT, olemme erikoistuneet käsityöhön5-akseliset jyrsityt keraamiset eristeetjotka määrittelevät tarkkuuden ja luotettavuuden uudelleen. Yli 20+Vuosien kokemuksella ratkaisumme on suunniteltu vastaamaan puolijohdelaitteiden tiukkoihin vaatimuksiin varmistaen lämpövakauden, sähköeristyksen ja kontaminaatiovapaan toiminnan erittäin herkissä ympäristöissä.

Miksi valita 5-akselisesti jyrsityt keraamiset eristeemme?

1.Edistyneet valmistusominaisuudet

Laitoksemme on varustettuhuippuluokan 5-akseliset CNC-jyrsinkoneet, mikä mahdollistaa mikronitason tarkkuuden edistyneiden keraamien, kuten alumiinioksidin (Al₂O₃), piikarbidin (SiC) ja alumiininitridin (AlN), muotoilussa. Toisin kuin perinteisillä menetelmillä, 5-akselinen työstö mahdollistaa monimutkaiset geometriat – kriittisiä komponenteille, kuten kiekkojen nostotapeille, pinnoituskammion osille ja plasmankestäville eristeille.

Tärkeimmät ominaisuudet:

•Tarkkuus:±0,005 mm:n toleranssi saumattomaan integrointiin ASML-litografiatyökaluihin tai Lam Research -etsausjärjestelmiin.
•Materiaalin monipuolisuus:Optimoitu 99,8 % alumiinioksidille, erittäin puhtaalle piikarbidille ja muille edistyneille keraamisille materiaaleille.
•Pinnan viimeistely:Ra <0,2 μm hiukkasten muodostumisen minimoimiseksi ISO-luokan 1 puhdastiloissa.

2.Oma prosessitekniikka

Insinöörimme ovat kehittäneetsuljetun kierron prosessien säädötjotka mukautuvat keraamien haurauteen koneistuksen aikana. Yhdistämällä kuivajyrsintätekniikat reaaliaikaiseen tärinänvaimennukseen saavutamme halkeilemattomat pinnat ja pidemmän komponenttien käyttöiän – jopa äärimmäisissä lämpövaihteluissa (jopa 1 600 °C).

Innovaatioesittelyssä:

•Stressinlievitysprotokollat:Minimoi AlN-eristeiden mikromurtumat CVD-sovelluksissa.
•Koneistuksen jälkeiset käsittelyt:HIP (kuumaisostaattinen puristus) parantaa tiheyttä ja korroosionkestävyyttä.

3.Tiukka laadunvarmistus

Jokainen eristin käy läpi12-vaiheinen tarkastus, mukaan lukien:

•KMM (koordinaattimittauskone)kriittisten ulottuvuuksien validointi.
•Heliumin vuototestaustyhjiöyhteensopivuuden varmistamiseksi.
•EDS (energiadispersiivinen röntgenspektroskopia)materiaalin puhtauden varmistamiseksi.

MeidänISO 9001/14001 -sertifioitu järjestelmävarmistaa jäljitettävyyden raaka-aineiden hankinnasta (joka hankitaan ensisijaisilta toimittajilta, kuten CoorsTekiltä) lopulliseen pakkaukseen asti.

Sovellukset: Tarkkuuden ja suorituskyvyn kohtaaminen

Eristimiimme luotetaan:

•Syövytys- ja laskeutustyökalut:SiC-pinnoitetut komponentit plasmankestävyyden takaamiseksi Applied Materials™ -moduuleissa.
•Ioni-implantit:Alumiinioksidista valmistetut nostotapit, joissa on antistaattinen pinnoite kiekkojen liukumisen estämiseksi.
•Metrologiset järjestelmät:EUV-litografiavaiheiden matalan lämpölaajenemisen eristeet.

Tapaustutkimus:Johtava puolijohdelaitevalmistaja lyhensi työkalujensa seisokkiaikaa 40 % siirtyessään mittatilaustyönä suunniteltuihin piikarbidisuihkupäihimme, jotka suoriutuivat kilpailijoiden osia paremmin 300 mm:n kiekkojen käsittelyssä.

Valmistuksen tuolla puolen: Kumppanuuslähestymistapa

•Nopea prototyyppien valmistus:Lähetä CAD-tiedostosi ja saat toimivat prototyypit 7 päivässä.
•Paikan päällä tehtävät puhdastilan pakkaukset:Valinnainen luokan 10 puhdastilakokoonpano työkalujen suoraa integrointia varten.
•Elinikäinen tekninen tuki:Insinöörimme tarjoavat kulumisanalyysejä ja uudelleenkoneistuspalveluita komponenttien käyttöiän pidentämiseksi.